PSAICSwin RF射频探针台

PSAICSwin RF射频探针台

PSAICSwin RF Probe Station

 

应用:

主要应用在半导体/微电子,电子,机电,物理,化学,材料,光电,纳米,微机电/MEMS,生物芯片,航空航天等科学研究领域,以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。价格适中,稳定性强,可升级扩展,操作方便;在各大高校、研究所及半导体行业应用较广;

 

技术参数:

主体型号

PSAICSwin RF

显微镜配置

三目体式显微镜

可选:高倍率金相显微镜、单筒视频显微等…

视频成像配置

CCD/C-MOS相机

真空卡盘尺寸

6至12寸

XY平台行程范围

150mm*150mm至300mm*300mm

XY平台设计

采用高精密丝杠式设计,精度<5微米,旋钮式设计,可加装电控装置

显微镜支撑结构XY行程

50mm*50mm

粗微调装置

精度<5微米

加温卡盘

可选200度/300度/其它

Z轴升降范围

5mm

卡盘R轴旋转角度

0-30度

底座方式

双层设计

二层板结构

U型

可放置样品尺寸

5mm至150mm(6寸)/200mm/300mm

真空卡盘平坦度

<10微米

探针座配置

MH300/MH100/MH500

探针杆配置

弹簧式/管式/高频/其它各类电学测试应用

线缆配置

同轴/三轴/高频/其它各类电学测试应用

接口配置

BNC或三同轴或其它

仰角调节装置

可选(配合管式探针杆使用)

探针

钨针(直径可选)/高频探针/其它

屏蔽箱

可选

隔振台

可选

台体尺寸

700mm*700mm*900mm

重量

100kg