Foot dimension(底座尺寸)：70 x 50mm

Travel range X,Y（XY行程）：+/-13mm

Travel range Z （Z轴行程）：+/-13mm

Feature Resolution（移动分辨率）：<0.7um

Vacuum Base Or Switchable Magnet Base(可切换真空或磁吸附基底可选)

注：高频测试用探针座，所配置探针臂分为两款，即：简易型与精密型，其中简易型探针臂的移动与调节通过探针座XYZ操作，精密型探针臂除探针座XYZ调节外，可通过自身做相应的仰角及压针调节；