微米尺度光电二极管强度反应测试机台

特点：

● 提供多种波长光源测试极微小晶片（60um）感光反应；

● 多种测试波段选择，后续可升级更换波段范围选择；

● 同步监控量测过程；

● 可手动/自动对焦元件；

● 样品可控温范围：常温至~90度（或根据需求配置不同温控范围组件）；

规格：

● 波段选择可同时配置8种。预设波段为：1550nm、1310nm、940nm、850nm、650nm五种；

● 光源功率全波段：10~20mW，间隔：0.1mW；

● 使用探针压pin量测，类似LED；

● 使用Keithley 2400或其它不同配置的源表量测电流；

● 250um尺寸，收光区：60um

● 样品厚度：100~350um，Wafer 2~4”，也有单一chip；

软件基本功能：

可输出参数结果

● 多点量测可程式编辑功率量测范围；

● 自动量测以及分析slope、I1、I2与P2；

● 各点IC数据分别存档；

流程图：