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1.快速进样腔：
1.1 超高真空不锈钢腔体，材质为304不锈钢，内壁电化学抛光处理，
本底真空好于5x10-8 Torr（烘烤后）；
1.2 DN100CF超高真空气动闸板阀；
1.3 传样机械臂及样品抓取装置；工作行程500 mm；
1.4 配有样品停放台；
1.5 配有分子泵及干泵
2.MBE腔：
2.1 真空腔体系统：超高真空不锈钢腔体，内壁电化学抛光处理，材质为304不锈钢，
可与真空互联管道相连，配备红外测温窗口，传样观察窗口，腔体观察窗口。
本底真空好于5x10-10 Torr；实现纳米级厚度薄膜生长。
2.2 样品台系统：高温热样品台；高温样品台需可加热至≥1200℃；
低温样品台需可降温至≤100K。
2.3 传样机械臂及样品抓取装置；工作行程400mm；
2.4 蒸发源系统：
2.4.1 低温蒸发源及控制器：2套
加热范围100℃-400℃，除气温度≥450℃，坩埚容积≥10cc
2.4.2 中温蒸发源及控制器：2套
加热范围450℃-1400℃，除气温度≥1450℃，坩埚容积≥10cc
3.低温STM观测腔：
3.1 扫描头
XY方向扫描范围：室温≥2μm，4.2K时≥0.6μm；Z方向工作范围：室温≥150 nm，
4.2K时≥70 nm；77K情况下XY方向温漂≤0.7nm/hour；
信号噪声：topo信号(FFT)≤2pm/VHzz；
3.2 抓取装置：使用带重力平衡装置的磁力传送杆并配备样品抓手；
3.3 安放台：固定在磁力传样杆上的安放台能够安放2个样品架和2个针尖架；
3.4 低温杜瓦：双层隔离结构，可储存液氦≥75升；
3.5 低温冷杆：内径≥20mm，最低温度≤4.3K，不锈钢316和其他非磁性材料；
3.6 腔体：304不锈钢材质，内壁电化学抛光，烘烤后并用液氮对插入室冷却真空≤3.0x10-10Torr；
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