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四点探针薄膜测量方案简述：
● 人机界面式互动程序；
● 提供较大电阻值薄膜 (数百Mohm以上) 或较小电阻值薄膜 (数百Mohm 以下) 测量范围；
● 可控制 Keithley 2636 系列、Keithley 2400 系列或其他各品牌电性测量范围的电流源表进行整合；
● 可供输入电流或电压，作定电流或扫描电压测量；
● 可供输入探针的尺寸信息与薄膜厚度；
● 可量测出电阻、片电阻、电阻率与导电率等各种客制化特性；
● 可进行量测速度、杂讯处理、偏压...等各量测相关设定；
● 量测资料结果输出，可显示在软件界面中或存档，以便在Excel进行进一步资料处理；
● 量测图形结果可显示图形输出；
低漏电四点探针电阻率测量系统
核心特点：
● 漏电流精度： < 1pA @200V（四个探针尖端同时接触加热盘）；
● 低漏电Triaxial 测试路径：从探针尖端到输入端，全程三轴低漏电设计，确保量测稳定；
● 高分辨率量测：电流分辨率：0.1fA，电压最高支支持：200V（DC）；
● 量测功能完整：支持 I、V、2-wire 与 4-wire 电阻量测；
● 探针头材质：标配 BeCu 镀金，选配钨针，探针间距：1.6mm、直径：100µm、压力：100g；
● 结构设计：Z 轴微调 >10mm，手动快速升降，确保探针高度一致；
● 加热盘：4 寸低漏电加热盘，可选配高温热 Chuck，支持高温量测；
● 软件功能：根据样品尺寸与厚度，自动转换为片电阻、体电阻率、导电率，量测结果即时显示并可输出 CSV文件；
● 接口齐全：配备 GPIB、RS232、USB 与数位 I/O；
应用范围：
● 适用于低电阻材料（如金属薄膜）与高电阻材料（如低导电薄膜） 的四点探针量测。
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