四点探针薄膜测量方案简述：
● 人机界面式互动程序；
● 提供较大电阻值薄膜 (数百Mohm以上) 或较小电阻值薄膜 (数百Mohm 以下) 测量范围；
● 可控制 Keithley 2636 系列、Keithley 2400 系列或其他各品牌电性测量范围的电流源表进行整合；
● 可供输入电流或电压，作定电流或扫描电压测量；
● 可供输入探针的尺寸信息与薄膜厚度；
● 可量测出电阻、片电阻、电阻率与导电率等各种客制化特性；
● 可进行量测速度、杂讯处理、偏压...等各量测相关设定；
● 量测资料结果输出，可显示在软件界面中或存档，以便在Excel进行进一步资料处理；
● 量测图形结果可显示图形输出；
可调型四探针电阻率测量系统
特点：
● 可以快速推拉定位，微调探针位置；
概述：
● 本设备用于各类半导体材料、导电薄膜、玻璃基板、涂层样品的面电阻（Ω/□）与体积电阻率（Ω·cm）的精密量测，其平台设计简洁，具备滑动定位与微调机构，能有效提升探针接触稳定性与数据准确性；
● 可选配套软件，自动根据样品尺寸形状与厚度，换算下列电性参数：
｜电阻（Ω）｜面电阻（Ω/□）｜体积电阻率（Ω·cm）｜导电率（S/cm）｜
量测结果可即时显示并储存为CSV格式，方便后续分析与报告制作；
规格：
● 适用于最大 4 寸晶圆测试台主体，内附 4 寸绝缘测试盘（可选配 6 寸或 8 寸）；
● 桌上型四点探针平台结构，手动操作，搭配标准固定针距探针头；
● 全同轴线缆设计，具有抗杂讯能力，提升数据可靠性；
● 探针头材质为铍铜镀金（BeCu Au-Coated），具有耐用且最佳导电性能；
● 探针规格说明：
● 针距：1.6 mm｜针尖直径：100 µm｜压力：100 g；
● 6寸铁氟龙材质绝缘样品台，适用多种环境条件；
● 手柄式升降机构，方便控制探针上下调节，操作方便；
标准配置：
● 四点探针测试平台｜桌上型探针台｜半导体电性能测试仪器｜探针参数可调整｜探针压力控制｜探針接触稳定设计；
选配：
● 针距可调探针头：可对应不同尺寸样品的精密测试需求，提升适配弹性；
● 四点探针标准电阻片（Standard Resistance Board）：作为日常校验与精准度确认使用，符合研究与品保需求；
● 四针探针标准电阻箱（Standard Resistance Case）：内建高精度电阻阵列（含 1K、10K、100K、1M、10M），供系统校正与参数验证使用。
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