


四点探针薄膜测量方案简述:
● 人机界面式互动程序;
● 提供较大电阻值薄膜 (数百Mohm以上) 或较小电阻值薄膜 (数百Mohm 以下) 测量范围;
● 可控制 Keithley 2636 系列、Keithley 2400 系列或其他各品牌电性测量范围的电流源表进行整合;
● 可供输入电流或电压,作定电流或扫描电压测量;
● 可供输入探针的尺寸信息与薄膜厚度;
● 可量测出电阻、片电阻、电阻率与导电率等各种客制化特性;
● 可进行量测速度、杂讯处理、偏压...等各量测相关设定;
● 量测资料结果输出,可显示在软件界面中或存档,以便在Excel进行进一步资料处理;
● 量测图形结果可显示图形输出;
垂直电阻率与水平四点探针测量系统
配置:
● 电极:10cm*10cm (适用于样品:5cm*5cm) 或 电极大小: <5*5cm (样品>20cm*20cm);
● 四线式量测;
● 可量测不同下压深度下软性毛氈样品;
● 上平面片电阻;
● 下平面片电阻;
● 垂直体积电阻;
● 可量测不同下压压力下非软性材料之垂直体电阻率;
● 可量测一般四点探针;