四点探针薄膜测量方案简述：
● 人机界面式互动程序；
● 提供较大电阻值薄膜 (数百Mohm以上) 或较小电阻值薄膜 (数百Mohm 以下) 测量范围；
● 可控制 Keithley 2636 系列、Keithley 2400 系列或其他各品牌电性测量范围的电流源表进行整合；
● 可供输入电流或电压，作定电流或扫描电压测量；
● 可供输入探针的尺寸信息与薄膜厚度；
● 可量测出电阻、片电阻、电阻率与导电率等各种客制化特性；
● 可进行量测速度、杂讯处理、偏压...等各量测相关设定；
● 量测资料结果输出，可显示在软件界面中或存档，以便在Excel进行进一步资料处理；
● 量测图形结果可显示图形输出；
12寸高温型四探针电阻率测量系统
概述：
● 四点探针结构，适用于直径最大为 12" 的晶圆，包括直径为 12" 的隔离测试盘；
● 本系统由一个桌面式四点探针结构主体和一个用于手动探测的四点探头组成，可选的软件可以根据用戶样品尺寸形状和厚度测量出电阻[Ω]、方块电阻[Ω/□]、体积电阻率 [Ω-cm] 和电导率 [S/cm]；
● 可选择测量条件，以便准确提取信号，测量数据以.csv 格式在线显示和存儲；[可量SiC元件]
规格：
● 具有完整同轴路径的4头探针头，可实现系统抗噪性；
● 四点探针头：铍铜镀金；
● 间距：1.6mm；
● 直径：100um；
● 压力：100g；
● 6" 铁氟龙隔离基板；
● 手柄杆驱动探头向上/向下调节；
● 加热盘：室温至 200 度 C、附温度控制器；
可选：
● 探针针距可调之探针头；
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