四点探针薄膜测量方案简述：
● 人机界面式互动程序；
● 提供较大电阻值薄膜 (数百Mohm以上) 或较小电阻值薄膜 (数百Mohm 以下) 测量范围；
● 可控制 Keithley 2636 系列、Keithley 2400 系列或其他各品牌电性测量范围的电流源表进行整合；
● 可供输入电流或电压，作定电流或扫描电压测量；
● 可供输入探针的尺寸信息与薄膜厚度；
● 可量测出电阻、片电阻、电阻率与导电率等各种客制化特性；
● 可进行量测速度、杂讯处理、偏压...等各量测相关设定；
● 量测资料结果输出，可显示在软件界面中或存档，以便在Excel进行进一步资料处理；
● 量测图形结果可显示图形输出；
12寸常温型四探针电阻率测量系统
概述：
● 本系统可量测12寸或以下尺寸样品任意位置的电阻，适用于高精度电性量测与材料导电性分析；
特点：
● 探针Z轴位置可进行微调与快速升降，X轴与Y轴位置同样具备精密微调功能，并搭配周边刻度尺标辅助记录，可标注X、Y坐标位置，方便多点重复量测与数据对比；
（注：下探针位置可由两组子探针座分別进行X-Y-Z微调，再由母探针座执行整体X-Y-Z的整体调整，特別适用于测试样品中具个別独立电极、需逐点下探针的量测情况；）
● 探针台配备真空吸附承载盘（Vacuum Chuck），可稳定固定样品，并可升级为三轴低漏电Triax Chuck系統，以支持高电阻材料或薄膜样品的精密电阻量测，降低漏电干扰、提升量测准确性；
升级后可：｜降低漏电流误差｜提升高阻测试准确度｜支持皮安（pA）级电流量测｜具备同轴屏蔽设计｜抑制背景杂讯干扰｜
● 本探针台系统支持测量直径12英寸（含）以下各种材料样品，可于样品表面任意位置进行电阻测量，特別适合用于进行横向电性均匀性分析与多点比较；
● 探针头设计具备Z轴快速升降与微调功能，能有效控制探针接触压力，减少样品损伤风险，同时具备X轴与Y轴的微调机构，可精确调整探针位置，平台周边设有定位标尺辅助系统，使用者可记录探针座在X、Y方向上的相对位置，提升多次量测重复性与分析效率；
● 本系统配备真空吸附式承载盘（Chuck），提供稳固样品固定效果，此承载盘可升级为三轴低漏电Triax Chuck系统，支持高阻抗材料的精密电性量测，有效降低漏电误差与背景杂讯干扰，确保量测結果准确可靠；
应用：
● 本探针台系统支持测量直径12英寸（含）以下各种材料样品，可于样品表面任意位置进行电阻测量，特别适用于导电薄膜均匀性分析、半导体材料开发以及研发阶段的多点测试；
● 广泛应用于高分子薄膜、氧化物层、绝緣材料与新型电子元件等研发与品质检测；
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