四点探针薄膜测量方案简述：
● 人机界面式互动程序；
● 提供较大电阻值薄膜 (数百Mohm以上) 或较小电阻值薄膜 (数百Mohm 以下) 测量范围；
● 可控制 Keithley 2636 系列、Keithley 2400 系列或其他各品牌电性测量范围的电流源表进行整合；
● 可供输入电流或电压，作定电流或扫描电压测量；
● 可供输入探针的尺寸信息与薄膜厚度；
● 可量测出电阻、片电阻、电阻率与导电率等各种客制化特性；
● 可进行量测速度、杂讯处理、偏压...等各量测相关设定；
● 量测资料结果输出，可显示在软件界面中或存档，以便在Excel进行进一步资料处理；
● 量测图形结果可显示图形输出；
双探针头位置可调四点探针电阻率测量系统
概述：
● 本系统可量测多个固定位置，可取代现有自动马达定拉，改以手动移动与定位方式，量测晶片上5个固定位置、9个固定位置或更多固定位置的电学特性；
特点：
● 四点探针（四线）量测模式，可进行电阻量测；
● 适用于有印刷电路走线的大面积ITO玻璃、导电布料、电池材料或其他金属走线PET膜；
● 适用于不同位置的四点探针量测以及不同位置或不同展开面积大小的范德堡 (Van Der Paul) 四点探针量测；
● 除电阻量测外，亦可进行I-V （电压-电流）/ C-V（电容-电压）等其他电性能量测；
● 两探针头可独立任意X轴或Y移动，也可以同时移动下针进行量测；
● 无须插拔任何信号线，电性上整合成多点/多功能多机体面积的四点探针量测系统；
如：进行一般四点探针薄膜量测，有电路走线的四点探针电阻量测，多点 （或多点TLM）探针电阻量测，四线夹线式导线电阻量测等...
● 可以取代现有自动马达定位，改以手动移动与定位方式，量测晶圆片上5个固定位置、9个固定位置或更多固定位置的电学特性；
● 减少不同人随意移动位置做5点、9点或更多点的量测所造成的量测数值误差；
● 适用于圆形、正方形、长方形或其他形狀 2”(或更小)~ 12”(或更大)尺寸的样品；
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