四点探针薄膜测量方案简述：
● 人机界面式互动程序；
● 提供较大电阻值薄膜 (数百Mohm以上) 或较小电阻值薄膜 (数百Mohm 以下) 测量范围；
● 可控制 Keithley 2636 系列、Keithley 2400 系列或其他各品牌电性测量范围的电流源表进行整合；
● 可供输入电流或电压，作定电流或扫描电压测量；
● 可供输入探针的尺寸信息与薄膜厚度；
● 可量测出电阻、片电阻、电阻率与导电率等各种客制化特性；
● 可进行量测速度、杂讯处理、偏压...等各量测相关设定；
● 量测资料结果输出，可显示在软件界面中或存档，以便在Excel进行进一步资料处理；
● 量测图形结果可显示图形输出；
自动变温多点四探针电阻率测量系统（TCR）
概述：
● 放置晶圆片后自动装片，量测结束后自动移出；
● 可选择量测模式执行：离线手动四点探针量测、自动多点探针量测、高温多点探针TCR量测；
● 自动模式下可选择执行多点探针量测，例如：5点/9点/ 49点或多于49点；
● 非自动模式下可自行指定探针直径，指定旋转卡盘角度装入及移出晶圆片，上升或下降探针头模组进行工程验证；
● 卡盘表面温度可定温或温度扫描控制20~85C或 RT~150C 进行R-T量测；
● 量测结束输出电阻，片电阻，体积电阻，导电率与R^2线性拟合度，Rs vs T，TCR(%) vs T 等参数与图形；
手动49针四点探针测试系统：
● 晶圆片真空吸附后手动装入，量测结束手动移出；
● 可选择执行多点探针量测，例如：5点/9点/ 49点或多于49点；
● 可快速微调5个探针头模组量测直径，可快速微调旋转卡盘角度，可快速微调上升/下降探针头模组高度，以便进行49点工程量测试验证；
● 卡盘表面温度可定温或温度扫描控制20~85C或RT~150C进行R-T的TCR量测；
● 量测结束输出电阻，片电阻，体积电阻，导电率与R^2线性拟合度，Rs vs T，TCR(%) vs T 等参数与图形；
规格：
● 12 寸加热盘，附水冷组件，由软件自动激活，用于高低温测量；
● 自动测量TCR，测量数据完成后在探针接触装载晶圆后显示map图；
● 计算被测晶圆在不同温度下的方块电阻；
● 常规 4 点测量（配置或不配置温度組合）；
● 使用测试仪器方便地对首片装载的晶圆进行探测与测量检查；
● 软件分别设定为 RES 4 线和温度 RTD 4 线；
● 自动TCR批次测量和自动TCR批次客制化测量模式；
● 使用者可以编辑测试项目上的序列作为一项工作来完成或遵循 TCR 测量的标准步骤；
● TCR 测量开始前的预测试模式；
● TCR 测量期间的活动快照，用于手动即时测量和 TCR 流程运行；
● 表面温度作为TCR测量中被测晶圆上的数值；
● 加热器自动调节，保存多组PID数据供软件参考；
● 用于建立、储存和载入的数据库；
● 测量数据和绘图即时显示，数据可储存为.csv文件，以便进行后续数据整理；
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