四点探针薄膜测量方案简述：
● 人机界面式互动程序；
● 提供较大电阻值薄膜 (数百Mohm以上) 或较小电阻值薄膜 (数百Mohm 以下) 测量范围；
● 可控制 Keithley 2636 系列、Keithley 2400 系列或其他各品牌电性测量范围的电流源表进行整合；
● 可供输入电流或电压，作定电流或扫描电压测量；
● 可供输入探针的尺寸信息与薄膜厚度；
● 可量测出电阻、片电阻、电阻率与导电率等各种客制化特性；
● 可进行量测速度、杂讯处理、偏压...等各量测相关设定；
● 量测资料结果输出，可显示在软件界面中或存档，以便在Excel进行进一步资料处理；
● 量测图形结果可显示图形输出；
全自动四探针（气动）电阻率测量系统
概述：
● 适用于量产机台溅镀（或其他制程）线，需要线上量测镀膜品质；
● 接受外部控制单元触发信号后，进行全自动气动多点电阻量测，量测结束后自动反馈给外部控制单元；
● 自动控制三组（或更多组）四点探针同时性、选择性或顺序性下降，完成多点电阻值量测，完成量测后自动上升定位并反馈；
● 自动侦测上下定位传感器，确定到下定位后才进行量测，如未到位会终止量测，并反馈错误信息，同样如果确定到上定位时，才允许移动待测物，确保安全性；
● 软件支持工程模式与量产模式，可自建/存取/下载Receipe，可将多组错误信息反馈给使用者故障排除，进行自动热电压补偿；
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