四点探针薄膜测量方案简述：
● 人机界面式互动程序；
● 提供较大电阻值薄膜 (数百Mohm以上) 或较小电阻值薄膜 (数百Mohm 以下) 测量范围；
● 可控制 Keithley 2636 系列、Keithley 2400 系列或其他各品牌电性测量范围的电流源表进行整合；
● 可供输入电流或电压，作定电流或扫描电压测量；
● 可供输入探针的尺寸信息与薄膜厚度；
● 可量测出电阻、片电阻、电阻率与导电率等各种客制化特性；
● 可进行量测速度、杂讯处理、偏压...等各量测相关设定；
● 量测资料结果输出，可显示在软件界面中或存档，以便在Excel进行进一步资料处理；
● 量测图形结果可显示图形输出；
气动Z轴自动压针四探针电阻率测量系统
概述：
● 四点探针量测系统由一个台式Z轴高度气控四点探针台和一个手动探针的四点探针头组成；
● 软件可根据用户的样品形状和厚度测量出电阻[Ω]、薄层电阻[Ω/□]、体积电阻率[Ω-cm]和电导率[S/cm]；
● 测量条件可选择，以便准确提取信号，测量数据在线显示并以.csv格式存储；
特点：
● 探针Z轴高度在线可精准调整；
● 可快速移动探头上下调节；
● 可控制每个探针的Z高度相同，可上下调节；
● 从载物台到测试线缆端的完整同轴路径，具有高抗噪性；
● 基于样品形状进行薄层电阻和电阻率测量；
● 可实现各种四点测量应用；
● 用于高温测量的热夹头（可选）；
● 多点测量方式（可选）；
规格：
● 四点探针测试主机；
● 4点探针头：铍铜合金或表面镀金，钨（可选）；
● 4点探针间距：1.6mm；直径：100μm；压力：100g；
● 通过旋钮对探头Z轴高度进行在线微调，调整幅度超过1cm；
● 6英寸电流隔离基板；
● 手持式控制气动，用于探头Z轴的快速上下移动；
● 数字仪表测量范围：最小0.1mΩ或最小1μΩ‘
● 直流电压（DCV）精度：0.035%；
● 探针Z轴高度的在线精细调整；
● 2线/4线电阻测量；
● 具备RS232、USB和数字输入/输出接口；
● 源表（选配）；
● 提供多种测量条件选择，以实现精确的信号提取；
● 根据样品形状，将测量电阻转换为薄层电阻、电阻率和电导率；
● 数据可在线显示，且可存储.csv格式；
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